Использование вакуумного покрытия полупроводников

Вакуумное покрытие продлевает срок службы расходных материалов в полупроводниковой промышленности и сокращает время простоя камеры.Материалы покрытий варьируются от плавленого кварца до диоксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия, а покрытия оптически прозрачны и химически инертны.Все это означает снижение стоимости владения за счет синхронизации циклов обслуживания.

Полупроводник1


Время публикации: 16 июня 2022 г.